天博体育官方盛美半导体首台洗濯装备入驻园区芯物科技

　　【TechWeb】6月16日动静，2021年6月7日，上海芯物科技局限公司12吋中试出产线工艺装备搬入典礼在新傲工场进行，盛美半导体装备（上海）股分局限公司首台洗濯装备入驻商户芯物科技。

　　据国度智能传感器立异中间卖力人在致辞时先容，12英寸进步前辈传感器特点工艺研发中试平台跨越80%的装备均采取国产装备，为国产设备供给考证平台b体育官方网站app下载，加快传感器财产链国产化b体育官方网站app下载，竣工自立可控。

　　王晖师长教师在致辞时说：“可以或许取得和芯物科技一同发展的时机，我代表盛美向芯物科技透露表现忠心的感激！在这个布满时机与寻事的期间，等候将来和芯物科技一同，开辟极少环球跨越的差同化特点工艺和装备，把华夏的MEMS做到天下前哨！”

　　盛美本次进驻芯物科技的装备为前道洗擦装备，该装备采取单片腔体对晶圆正后背依工序洗濯，可停止包罗晶圆后背洗擦、晶圆边沿洗擦、正后背二流体洗濯等洗濯工序。装备占空中积小，产能高，不变性强，多种洗濯体例矫捷可选，且可用于芯片建造的中前段至后段各道洗擦工艺。

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